غطاء القمر الصناعي المغلفة كذا MOCVD

بصفته شركة تغطية MOCVD المغلفة في الصين الرائدة في الصين ، تلتزم VeteKsemcon بتوفير حلول للعملية الفوقية عالية الأداء لصناعة أشباه الموصلات. تم تصميم الأغطية المغلفة المغلفة MOCVD SIC بعناية وتستخدم عادةً في نظام Satellite Secorsor (SSS) لدعم وتغطية رقائق أو عينات لتحسين بيئة النمو وتحسين الجودة الفوقية.

المواد والهياكل الرئيسية

● الركيزة: عادةً ما يكون الغطاء المغلفة من أجله من الجرافيت أو الركيزة السيراميكية عالية النقاء ، مثل الجرافيت المتساوي ، لتوفير قوة ميكانيكية جيدة ووزن خفيف.

●  طلاء السطح: مادة كربيد السيليكون عالية النقاء (SIC) مغلفة باستخدام عملية ترسب البخار الكيميائي (CVD) لتعزيز مقاومة درجات الحرارة المرتفعة والتآكل والتلوث الجسيمات.

●  استمارة: عادة على شكل قرص أو مع تصميمات هيكلية خاصة لاستيعاب نماذج مختلفة من معدات MOCVD (على سبيل المثال ، VEECO ، AIXTRON).

الاستخدامات والأدوار الرئيسية في عملية MOCVD:

يستخدم غطاء القمر الصناعي المطلي بـ SIC لـ MOCVD بشكل أساسي في غرفة تفاعل النمو الفوقية MOCVD ، وتشمل وظائفه:

(1) حماية الرقاقات وتحسين توزيع درجة الحرارة

كمكون رئيسي لدرع الحرارة في معدات MOCVD ، فإنه يغطي محيط الرقاقة لتقليل التدفئة غير المنتظم وتحسين توحيد درجة حرارة النمو.

صفات: طلاء كربيد السيليكون لديه استقرار جيد في درجات الحرارة والتوصيل الحراري (300W.M^-1-ك^-1) ، مما يساعد على تحسين سمك الطبقة الفوقية وتوحيد المنشطات.

(2) منع تلوث الجسيمات وتحسين جودة الطبقة الفوقية

يمنع السطح الكثيف والمقاوم للتآكل من طلاء SIC غازات المصدر (مثل TMGA ، TMAL ، NH₃) من التفاعل مع الركيزة أثناء عملية MOCVD ويقلل من تلوث الجسيمات.

صفات: خصائص الامتزاز المنخفضة تقلل من بقايا الترسيب ، وتحسين عائد GAN ، والرقق الفوقي.

(3) مقاومة درجات الحرارة العالية ، ومقاومة التآكل ، وإطالة عمر خدمة المعدات

يتم استخدام درجة الحرارة المرتفعة (> 1000 درجة مئوية) والغازات المسببة للتآكل (مثل NH₃ ، H₂) في عملية MOCVD. الطلاءات SIC فعالة في مقاومة التآكل الكيميائي وتقليل تكاليف صيانة المعدات.

صفات: بسبب انخفاض معامل التمدد الحراري (4.5 × 10^-6K^-1) ، يحافظ SIC على الاستقرار الأبعاد ويتجنب التشويه في بيئات ركوب الدراجات الحرارية.

طلاء CVD بنية بلورية ：

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SIC

غطاء القمر الصناعي المطلي بـ Veteksemicon في متجر منتجات MOCVD: