إن تشاك الإلكتروستاتيكي (ESC) ، المعروف أيضًا باسم electrostatic chuck (ESC ، e-chuck) ، هو تركيبات تستخدم مبدأ الامتزاز الإلكتروستاتيكي للاحتفاظ بالمواد الممتصة وإصلاحها. إنه مناسب لبيئات الفراغ والبلازما.
ناقلات رقاقة SIC ، باعتبارها المواد الاستهلاكية الرئيسية في سلسلة صناعة أشباه الموصلات من الجيل الثالث ، تؤثر خصائصها التقنية بشكل مباشر على إنتاجية النمو الفوقي وتصنيع الأجهزة. مع ارتفاع الطلب على الأجهزة عالية الجهد ودرجات الحرارة العالية في الصناعات مثل المحطات الأساسية 5G ومركبات الطاقة الجديدة ، تواجه البحث وتطبيق ناقلات الويفر SIC الآن فرص تنمية مهمة.
نحن نستخدم ملفات تعريف الارتباط لنقدم لك تجربة تصفح أفضل، وتحليل حركة مرور الموقع، وتخصيص المحتوى. باستخدام هذا الموقع، فإنك توافق على استخدامنا لملفات تعريف الارتباط.سياسة الخصوصية