أخبار الصناعة

SIC Ceramic هي مادة خزفية تنتجها تفاعل عناصر السيليكون (SI) والكربون (C) ، والتي تتميز بارتفاع شديد في الصلابة ومقاومة الحرارة والاستقرار الكيميائي

في عالم المخاطر العالية لتصنيع أشباه الموصلات ، الدقة والاستقرار هي كل شيء-وهذا هو المكان الذي يخطو فيه تشاك الكهروستاتيكي (ESC) أكثر بكثير من مجرد أداة عقد ، يستخدم ESC القوى الإلكتروستاتيكية لعمليات الرقاقات المسبقة بشكل آمن خلال العمليات الحرجة مثل الحفر والترسب وزرع أيون. ولكن كيف تعمل بالفعل؟ لماذا هو متفوق على التثبيت الميكانيكي التقليدي؟ وما هو الدور الذي تلعبه في تحقيق دقة النانو وكفاءة الإنتاجية؟ مرحبا بكم في القراءة.

يعد مبدأ Dechuck لـ electrostatic chuck جزءًا رئيسيًا من سير العمل الذي يتضمن القضاء على القوة الكهروستاتيكية وآليات إطلاق الرقاقة.