أسطوانة الجرافيت CVD SIC

تلعب أسطوانة الجرافيت في CVD SIC في VETEK دورًا مهمًا في معدات أشباه الموصلات. عادة ما يتم استخدامه كغطاء وقائي داخل المفاعل لتوفير الحماية للمكونات الداخلية للمفاعل في بيئات عالية من درجة الحرارة والضغط العالي. يمكن لهذا الغطاء الوقائي أن يعزل المواد الكيميائية ودرجات الحرارة المرتفعة بشكل فعال ، مما يمنعها من التسبب في تلف المعدات. في الوقت نفسه ، تتمتع أسطوانة الجرافيت CVD SIC أيضًا بمقاومة تآكل وتآكل ممتازة ، مما يجعلها قادرة على الحفاظ على الاستقرار والمتانة على المدى الطويل في بيئات العمل القاسية. باستخدام أغطية واقية مصنوعة من هذه المادة ، يمكن تحسين أداء وموثوقية أجهزة أشباه الموصلات ، مما يزيد من عمر خدمة الجهاز مع تقليل احتياجات الصيانة وخطر التلف.

تستخدم أسطوانة الجرافيت CVD SIC على نطاق واسع في معدات أشباه الموصلات ، وتغطي المناطق الرئيسية التالية:

معدات المعالجة الحرارية

إنه بمثابة غطاء واقٍ أو درع حراري في معدات المعالجة الحرارية. هذا لا يحمي المكونات الداخلية فقط من أضرار درجات الحرارة المرتفعة ولكن أيضًا يتميز بمقاومة درجة حرارة عالية ممتازة.

مفاعلات ترسيب البخار الكيميائي (CVD)

في مفاعلات CVD ، يعمل كغطاء وقائي لغرفة التفاعل الكيميائي. إنه يعزل مواد التفاعل بشكل فعال ويوفر مقاومة جيدة للتآكل.

بيئات تآكل

بفضل مقاومة التآكل المتميزة ، يمكن استخدام أسطوانة الجرافيت CVD SIC في إعدادات تآكل كيميائيًا أثناء تصنيع أشباه الموصلات ، مثل البيئات ذات الغازات المسببة للتآكل أو السوائل.

معدات نمو أشباه الموصلات

يعمل كأغطية واقية أو مكونات أخرى في معدات نمو أشباه الموصلات. من خلال حماية المعدات من درجات حرارة عالية ، والتآكل الكيميائي ، وارتداءها ، فإنه يضمن استقرار المعدات وموثوقية الأجل الطويلة.

تتميز باستقرار درجة الحرارة العالية ، ومقاومة التآكل ، والخصائص الميكانيكية الممتازة ، والتوصيل الحراري الجيد ، تسهل أسطوانة الجرافيت CVD SIC تبديد حرارة أكثر كفاءة في أجهزة أشباه الموصلات ، وبالتالي الحفاظ على استقرار الجهاز والأداء.