واقي طلاء CVD SIC

وضع المنتج والوظائف الأساسية ：

يعد واقي طلاء CVD SIC مكونًا رئيسيًا في المعدات الفوقية للسيليكون LPE ، ويستخدم بشكل رئيسي لحماية الهيكل الداخلي لغرفة التفاعل وتحسين استقرار العملية. تشمل وظائفها الأساسية:

حماية التآكل: يمكن لطلاء كربيد السيليكون الذي يتكون من عملية ترسب البخار الكيميائي (CVD) أن يقاوم التآكل الكيميائي لبلازما الكلور/الفلور وهو مناسب للبيئات القاسية مثل معدات الحفر ؛

الإدارة الحرارية: يمكن للموصلية الحرارية العالية لمادة كربيد السيليكون تحسين توحيد درجة الحرارة في غرفة التفاعل وتحسين جودة الطبقة الفوقية ؛

تقليل التلوث: كمكون للبطانة ، يمكن أن يمنع المنتجات الثانوية من التفاعل من الاتصال المباشر للغرفة وتوسيع دورة صيانة المعدات.

الخصائص الفنية والتصميم ：

التصميم الهيكلي:

عادةً ما يتم تقسيمها إلى أجزاء نصف القمر العلوية والسفلية ، يتم تثبيتها بشكل متماثل حول الدرج لتشكيل بنية وقائية على شكل حلقة ؛

تتعاون مع مكونات مثل الصواني ورؤوس دش الغاز لتحسين توزيع تدفق الهواء وتركيز البلازما.

عملية الطلاء:

يتم استخدام طريقة الأمراض القلبية الوعائية لإيداع الطلاء SIC عالي النقاء ، مع توحيد سمك الفيلم في ± 5 ٪ وخشونة السطح منخفضة مثل RA≤0.5μm ؛

سمك الطلاء النموذجي يتراوح بين 100-300μm ، ويمكنه تحمل بيئة درجة حرارة عالية تبلغ 1600 ℃.

سيناريوهات التطبيق ومزايا الأداء ：

المعدات المعمول بها:

يستخدم بشكل أساسي للفرن الفوسيلي للسيليكون بحجم 8 بوصات من LPE ، ودعم نمو محرك الجنس المثلي.

مناسبة للمعدات الحفر ومعدات MOCVD وغيرها من السيناريوهات التي تتطلب مقاومة عالية للتآكل.

المؤشرات الرئيسية:

معامل التمدد الحراري: 4.5 × 10⁻⁶/k (مطابقة مع الركيزة الجرافيت لتقليل الإجهاد الحراري) ؛

المقاومة: 0.1-10Ω · سم (متطلبات الموصلية) ؛

خدمة الخدمة: 3-5 مرات أطول من مواد الكوارتز/السيليكون التقليدية.

الحواجز والتحديات الفنية

يحتاج هذا المنتج إلى التغلب على صعوبات العملية مثل التحكم في توحيد الطلاء (مثل تعويض سمك الحافة) وتحسين ربط الواجهة المطبقة للركيزة (≥30MPa) ، وفي الوقت نفسه يحتاج إلى مطابقة الدوران عالي السرعة (1000 دورة في الدقيقة) ومتطلبات التدرج درجة الحرارة لمعدات LPE.