منتجات
نيتريد الألومنيوم (AlN) ظرف كهرباء سيراميك
  • نيتريد الألومنيوم (AlN) ظرف كهرباء سيراميكنيتريد الألومنيوم (AlN) ظرف كهرباء سيراميك

نيتريد الألومنيوم (AlN) ظرف كهرباء سيراميك

ظرف كهروستاتيكية من السيراميك من نيتريد الألومنيوم من VeTek (ESCs) عبارة عن منصات تثبيت برقائق ذات موصلية حرارية عالية مصممة لأدوات معالجة أشباه الموصلات التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة، وإمساكًا كهروستاتيكيًا مستقرًا، وتوليد جزيئات منخفضة. تم تصنيع هذه الظرفات من سيراميك AlN عالي النقاء، مما يوفر انتشارًا ممتازًا للحرارة وعزلًا كهربائيًا عاليًا وتثبيت كولومب أو جونسن-راهبيك الموثوق به لعمليات الرقاقة مقاس 150 مم و200 مم و300 مم.
    تصنيف: 5.0
    (عدد التقييمات: 1)

    1.المزايا

    • سيراميك AlN عالي النقاء مع موصلية حرارية تصل إلى ~180 واط/م · كلفن لنقل الحرارة بكفاءة وتوحيد درجة الحرارة

    • عزل كهربائي قوي ومقاومة عالية الحجم تدعم التثبيت المستقر عند 1-3 كيلو فولت (تتوفر جهود أعلى)

    • مواد الطبقة العازلة المخصصة وتخطيطات القطب الكهربائي: Coulomb أو Johnsen–Rahbek (JR)؛ منطقة واحدة أو متعددة

    • أداء سريع للمشبك وفك المشبك، عادةً ما يكون أقل من 0.1 ثانية

    • هياكل مجهرية سطحية يصل قطرها إلى 300 ميكرومتر تقريبًا، مما يقلل مساحة التلامس إلى ما يصل إلى 1% تقريبًا

    • قدرة عالية على التسطيح. التسطيح العالمي النموذجي في حدود 0.5-3 ميكرومتر PV لمنصات فئة 300 مم

    • بنية مجهرية كثيفة مع امتصاص ماء قريب من الصفر ومقاومة كيميائية جيدة لبيئات المعالجة

    2.التطبيقات النموذجية

    يتم استخدام ظرف الكهروستاتيكية الخزفية من نيتريد الألومنيوم في خطوات العملية التي تتطلب تثبيتًا آمنًا للرقاقة وسلوكًا حراريًا متحكمًا فيه:

    • حفر البلازما الجافة (ICP / RIE) وعمليات الغرفة ذات الصلة

    • CVD، PEALD، ALD الحراري، ومراحل ترسيب الأغشية الرقيقة الأخرى

    • تتطلب وحدات المعالجة الحرارية والتليين درجة حرارة موحدة للرقاقة

    • مراحل الفحص والقياس والدقة حيث تكون الجسيمات المنخفضة والتثبيت المستقر أمرًا بالغ الأهمية

    3.درجات مواد AlN - الخصائص النموذجية

    تقدم VeTek درجات متعددة من نيتريد الألومنيوم لتحقيق التوازن بين التوصيل الحراري والقوة الميكانيكية وتكلفة تصميمات ESC:

    ملكية

    عين-HC95

    عين-HP95

    عين99

    عين999

    عين-HP999

    عين-HP999LR

    لون

    رمادي

    رمادي

    رمادي

    رمادي

    رمادي

    رمادي

    نقاء

    ≥95%

    ≥95%

    ≥99%

    ≥99.9%

    ≥99.9%

    ≥99.9%

    الكثافة (جم/سم³)

    3.3

    3.3

    3.3

    3.2

    3.3

    3.3

    امتصاص الماء (٪)

    0

    0

    0

    0

    0

    0

    صلابة الجهد العالي (GPa)

    10

    10

    10

    10

    10

    10

    قوة الانثناء (MPa)

    380

    400

    350

    310

    360

    310

    معامل المرونة (GPa)

    320

    300

    300

    300

    300

    300

    صلابة الكسر

    3

    3.4

    3

    2.8

    2.3

    3.3

    CTE (×10⁻⁶/درجة مئوية)

    4.6

    5.7

    5.2

    5.5

    5.7

    5.4

    الموصلية الحرارية

    180

    180

    100

    90

    90

    90

    الصدمة الحرارية (درجة مئوية)

    400

    500

    —

    —

    350

    —

    قوة عازلة

    16

    16

    —

    16

    —

    —

    مقاومة الحجم

    1×10¹⁴

    1×10¹⁵

    1×10¹⁵

    —

    1×10¹⁵

    قابل للتعديل

    ثابت العزل الكهربائي

    8.6

    8.6

    8.5

    8.5

    —

    —

    الوحدات: التوصيل الحراري بوحدة W/(m·K)؛ قوة العزل الكهربائي في كيلو فولت / مم؛ المقاومة الحجمية بـ Ω·cm (25 درجة مئوية)؛ ثابت العزل الكهربائي عند 1 ميجا هرتز. القيم نموذجية وقد تختلف باختلاف العملية وهندسة الأجزاء.

    4.معلمات تصميم ESC النموذجية

    المعلمة

    القيمة/النطاق النموذجي

    مادة السيراميك

    نيتريد الألومنيوم (AlN)

    نوع إي إس سي

    كولومب / جونسن-راهبيك (JR)

    تخطيط القطب

    منطقة واحدة أو متعددة

    طريق التصنيع

    الضغط الساخن (يفضل AlN لدرجات TC العالية)

    المشبك / دي المشبك الوقت

    <0.1 ثانية (نموذجي)

    قطر الدمل (دقيقة)

    ~ 300 ميكرومتر

    منطقة الاتصال (مع الدمامل)

    يمكن تخفيضها إلى ~1%

    التسطيح العالمي (فئة 300 مم)

    ~0.5–3 ميكرومتر كهروضوئي (نموذجي)

    لقط الجهد

    1-3 كيلو فولت قياسي؛ التصاميم > 15 كيلو فولت ممكنة

    5.لماذا تشوهل VeTek AlN خراطيش كهرباء؟

    يدمج VeTek Semiconductor سيراميك AlN المتقدم مع تصنيع ESC الدقيق لعملاء أشباه الموصلات الذين يحتاجون إلى الأداء الحراري والتثبيت الموثوق به:

    • درجات AlN متعددة مع التوصيل الحراري من ~90 إلى ~180 واط/م·ك لتتناسب مع الميزانيات الحرارية للعملية

    • تصميم إلكترود مرن وعازل كهربائي لسلوك تثبيت Coulomb أو JR

    • التحكم الدقيق في التسطيح والبنية الدقيقة للسطح وأداء العزل الكهربائي

    • دعم كامل لدورة الحياة: التصميم والبناء الجديد والتجديد متعدد المستويات

    بالنسبة للحفر والترسيب والأدوات الحرارية التي تعتمد على درجة حرارة موحدة للرقاقة والتثبيت النظيف والمتكرر، توفر خراطيش الكهرباء الساكنة المصنوعة من السيراميك من نيتريد الألومنيوم من VeTek منصة سيراميكية عالية الأداء مدعومة بدعم هندسي يركز على التطبيق.

    إرسال استفسار
    معلومات الاتصال
    • عنوان

      طريق وانغدا، شارع زيانغ، مقاطعة وويي، مدينة جينهوا، مقاطعة تشجيانغ، الصين

    • بريد إلكتروني

      anny@veteksemi.com

    For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
    تصنيف:
    5.0
    X
    نحن نستخدم ملفات تعريف الارتباط لنقدم لك تجربة تصفح أفضل، وتحليل حركة مرور الموقع، وتخصيص المحتوى. باستخدام هذا الموقع، فإنك توافق على استخدامنا لملفات تعريف الارتباط. سياسة الخصوصية
    يرفضيقبل