أخبار

تصف هذه المقالة بشكل رئيسي آفاق التطبيق الواسعة لسيراميك سيليكون كربيد. ويركز أيضًا على تحليل أسباب الشقوق الملبدة في سيراميك كربيد السيليكون والحلول المقابلة.

غالبًا ما تواجه تقنية الحفر في تصنيع أشباه الموصلات مشاكل مثل تأثير التحميل وتأثير الأخدود الصغير وتأثير الشحن، مما يؤثر على جودة المنتج. تتضمن حلول التحسين تحسين كثافة البلازما، وضبط تكوين غاز التفاعل، وتحسين كفاءة نظام التفريغ، وتصميم تخطيط الطباعة الحجرية المعقول، واختيار مواد قناع النقش وظروف العملية المناسبة.

التلبد الساخن هو الطريقة الرئيسية لإعداد سيراميك SIC عالي الأداء. تشمل عملية التلبيد الضغط الساخن: اختيار مسحوق SIC عالي النقاء ، والضغط والتشكيل تحت درجة حرارة عالية وضغط عالي ، ثم تلبيس. تحتوي السيراميك SIC على هذه الطريقة على مزايا نقاء عالية وكثافة عالية ، وتستخدم على نطاق واسع في أقراص الطحن ومعدات المعالجة الحرارية لمعالجة الرقاقة.