أخبار

من منظور التطبيق لنمو بلورة أحادية SiC، تقارن هذه المقالة المعلمات الفيزيائية الأساسية لطلاء TaC وطلاء SIC، وتشرح المزايا الأساسية لطلاء TaC على طلاء SiC من حيث مقاومة درجات الحرارة العالية، والثبات الكيميائي القوي، وتقليل الشوائب، و تكاليف أقل.

هناك العديد من أنواع معدات القياس في مصنع FAB. تشمل المعدات الشائعة معدات قياس عملية الطباعة الحجرية ، ومعدات قياس عملية الحفر ، ومعدات قياس عملية ترسب الأفلام الرقيقة ، ومعدات قياس عملية المنشطات ، ومعدات قياس عملية CMP ، ومعدات الكشف عن جسيمات الرقاقة وغيرها من معدات القياس.

يمكن لطلاء Tantalum Carbide (TAC) أن يمتد بشكل كبير من عمر أجزاء الجرافيت عن طريق تحسين مقاومة درجة الحرارة العالية ومقاومة التآكل والخصائص الميكانيكية وقدرات الإدارة الحرارية. تقلل خصائص نقاءها العالية من تلوث الشوائب ، وتحسين جودة نمو البلورة ، وتعزيز كفاءة الطاقة. وهي مناسبة لتصنيع أشباه الموصلات وتطبيقات النمو البلوري في بيئات عالية الحرارة ، وتآكل للغاية.

تستخدم الطلاءات كربيد Tantalum (TAC) على نطاق واسع في حقل أشباه الموصلات ، وذلك أساسًا لمكونات مفاعل النمو الفوقي ، ومكونات مفتاح نمو البلورة الواحدة ، والمكونات الصناعية ذات درجة الحرارة العالية ، ومواد نظام MOCVD ، وتسخينات الطاقة ، وتحسين الخبران.

أثناء عملية النمو الفوقي لـ SiC، قد يحدث فشل في تعليق الجرافيت المطلي بـ SiC. تجري هذه الورقة تحليلًا دقيقًا لظاهرة فشل نظام التعليق الجرافيت المطلي بـ SiC، والذي يتضمن بشكل أساسي عاملين: فشل الغاز الفوقي من SiC وفشل طلاء SiC.

تتناول هذه المقالة بشكل أساسي مزايا العملية والاختلافات بين عملية تنضيد الشعاع الجزيئي وتقنيات ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي.