كذا المغلفة بعمق UV بقيادة Sumpceptor

SIC مغلف بالأشعة فوق البنفسجية العميقة هو المكون الأساسي فيMOCVD (ترسيب البخار الكيميائي العضوي المعدني) المعدات. يؤثر الحاسوب بشكل مباشر على توحيد ، والتحكم في السمك ، وجودة المواد للنمو الفوقي للأشعة فوق البنفسجية العميقة ، وخاصة في نمو طبقة نيتريد الألومنيوم (ALN) مع محتوى عالي من الألومنيوم ، وتصميم وأداء الحساسية أمر بالغ الأهمية.

تم تحسين SiC Deep UV LED SOSSOPSOR خصيصًا لـ EPITAXY العميق للأشعة فوق البنفسجية ، ويتم تصميمه بدقة استنادًا إلى الخصائص البيئية الحرارية والميكانيكية والكيميائية لتلبية متطلبات العملية الصارمة.

يستخدم أشباه الموصلات الفيتيكية تقنية المعالجة المتقدمة لضمان توزيع موحد للحرارة للمحسّنة ضمن نطاق درجة حرارة التشغيل ، وتجنب النمو غير الموحد للطبقة الفوقية الناتجة عن التدرج في درجة الحرارة. تتحكم المعالجة الدقيقة في خشونة السطح ، وتقليل تلوث الجسيمات ، ويحسن كفاءة الموصلية الحرارية لاتصال سطح الويفر.

يستخدم أشباه الموصلات الفيتينية SGL Graphite كمادة ، ويتم علاج السطح معCVD كذا طلاء، والتي يمكن أن تصمد أمام NH3 و HCL وجو ارتفاع درجة الحرارة لوقت طويل. يتطابق SIC من أشباه الموصلات المغلفة من أشباه الموصلات النمطية المغلفة مع معامل التمدد الحراري للرقائق الفوقية ALN/GAN ، مما يقلل من تزييف الرقاقة أو التكسير الناجم عن الإجهاد الحراري أثناء العملية.

الأهم من ذلك ، أن SIC SIC المغلفة من أشباه الموصلات النمطية المغطاة بالأشعة فوق البنفسجية المغلفة يتكيف تمامًا مع معدات MOCVD السائدة (بما في ذلك VEECO K465I ، EPIK 700 ، Aixtron Crius ، إلخ). يدعم الخدمات المخصصة لحجم الرقاقة (2 ~ 8 بوصات) ، وتصميم فتحة الرقاقة ، ودرجة حرارة العملية وغيرها من المتطلبات.

سيناريوهات التطبيق:

● تحضير LED للأشعة فوق البنفسجية العميقة: ينطبق على العملية الفوقية للأجهزة في النطاق أقل من 260 نانومتر (تطهير UV-C والتعقيم وغيرها من الحقول).

● نيتريد أشباه الموصلات epitaxy: يستخدم للإعداد الفوقي لمواد أشباه الموصلات مثل نيتريد الغاليوم (GAN) ونيتريد الألومنيوم (ALN).

● التجارب الفوقية على مستوى البحث: العميق UV Epitaxy وتجارب تطوير المواد الجديدة في الجامعات ومؤسسات البحث.

بدعم من فريق تقني قوي ، فإن أشباه الموصلات الفيتيك قادرة على تطوير المشكلات بمواصفات ووظائف فريدة وفقًا لاحتياجات العملاء ، ودعم عمليات الإنتاج المحددة ، وتوفير خدمات طويلة الأجل.

بيانات SEM لفيلم طلاء CVD:

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SIC:

انها أشباه الموصلاتمتاجر منتجات SIC Deep Deep UV Sumpceptor: