Aixtron Satellite Wefer Carrier

Aixtron Satellite Wefer Carrier هو جزء لا يتجزأ من معدات Aixtron MOCVD ، ويستخدم خصيصًا لحمل الرقاقات للنمو الفوقي. إنه مناسب بشكل خاص لepitaxial growthعملية أجهزة GAN و SILICON CARBIDE (SIC). لا يضمن تصميمه "القمر الصناعي" الفريد فقط توحيد تدفق الغاز ، ولكن أيضًا يحسن توحيد ترسب الفيلم على سطح الرقاقة.

Aixtron'sحركات البسكويتعادة ما تكون مصنوعة منكربيد السيليكون (كذا)أو الجرافيت المغطى بأقصى القمص القلمي. من بينها ، يحتوي كربيد السيليكون (SIC) على توصيل حراري ممتازة ومقاومة عالية للدرجات الحرارة ومعامل التمدد الحراري المنخفض. الجرافيت المغلفة CVD مغلف بالجرافيت مع فيلم كربيد السيليكون من خلال عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) ، والتي يمكن أن تعزز مقاومة التآكل والقوة الميكانيكية. يمكن لمواد الجرافيت المغلفة والمواد المغلفة تحمل درجات حرارة تصل إلى 1400 درجة مئوية - 1،600 درجة مئوية ولديها ثبات حراري ممتاز في درجات حرارة عالية ، وهو أمر بالغ الأهمية لعملية النمو الفوقي.

يستخدم حاملة رقاقة القمر الصناعي Aixtron بشكل أساسي لحمل وتدوير الرقاقات فيعملية MOCVDلضمان تدفق الغاز الموحد وترسب موحد أثناء النمو الفوقي.الوظائف المحددة هي كما يلي:

● دوران الويفر وترسب موحد: من خلال دوران حاملة القمر الصناعي Aixtron ، يمكن للرقاقة الحفاظ على حركة مستقرة أثناء النمو الفوقي ، مما يسمح للغاز بالتدفق بالتساوي على سطح الرقاقة لضمان ترسب موحد للمواد.

● تحمل درجة حرارة عالية واستقرار: يمكن للسيليكون كربيد أو مواد جرافيت مغلفة تحمل درجات حرارة تصل إلى 1400 درجة مئوية - 1،600 درجة مئوية. تضمن هذه الميزة ألا تشوه الرقاقة أثناء النمو الفوقي العالي درجات الحرارة ، مع منع التوسع الحراري للناقل نفسه من التأثير على العملية الفوقية.

● انخفاض توليد الجسيمات: تحتوي المواد الحاملة عالية الجودة (مثل SIC) على أسطح ناعمة تقلل من توليد الجسيمات أثناء ترسب البخار ، وبالتالي تقليل إمكانية التلوث ، وهو أمر بالغ الأهمية لإنتاج مواد أشباه الموصلات عالية الجودة عالية الجودة.

تتوفر شركة Aixtron Satellite Wefer Carrier من Aixtron في أحجام 100 ملم و 150 مم و 200 ملم وحتى أكبر من أحجام الويفر ، ويمكنها توفير خدمات منتج مخصصة بناءً على متطلبات المعدات والعملية. نأمل مخلصين أن نكون شريكك على المدى الطويل في الصين.

بيانات SEM من CVD SIC Film Crystal Structure：

Aixtron Satellite Wkifer Carrier Shops: