أخبار

إن مستقبل الجرافيت المطلي بـ SiC لـ ASM ليس مجرد جزء بديل داخل النظام الفوقي. إنها مادة حاملة للعملية الحرجة تؤثر على التوحيد الحراري، ونظافة الرقاقة، ومتانة الطلاء، واستقرار الغرفة، وتكلفة الإنتاج على المدى الطويل.

إن غطاء طلاء CVD TaC ليس مجرد غطاء واقٍ أو مكون جرافيت مطلي. في عمليات أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية، يمكن أن يؤثر ذلك على نظافة الغرفة، والاستقرار الحراري، وعمر الجزء، واتساق العملية.

في إنتاج PECVD، لا تبدأ العديد من مشكلات الطلاء والترسيب بقوة البلازما أو كيمياء الغاز. يبدأون بالناقل الذي يحمل الرقائق.