أخبار

قارب الكوارتز هو مكون رئيسي للحمل يستخدم في عملية تصنيع أشباه الموصلات. يتم استخدامه بشكل أساسي لمعالجة الرقائق ذات درجة الحرارة العالية ، مثل الانتشار والأكسدة والصلصة. إن استقراره الحراري الممتاز ، وخصائص التلوث المنخفضة ومقاومة التآكل يجعلها مادة لا غنى عنها في صناعة أشباه الموصلات. ستوضح هذه المقالة عن المواد والخصائص الفيزيائية والتصنيف وسيناريوهات التطبيق لقارب الكوارتز واختلافاتها عن قارب الجرافيت PECVD.

المادة الأساسية لقارب الجرافيت PECVD هي مادة الجرافيت المتناحية عالية النقاء (عادة ما تكون النقاء 99.999 ٪) ، والتي لديها توصيل كهربائي ممتاز ، الموصلية الحرارية والكثافة. بالمقارنة مع قوارب الجرافيت العادية ، فإن قوارب الجرافيت PECVD لديها العديد من مزايا الممتلكات الفيزيائية والكيميائية وتستخدم بشكل أساسي في صناعات أشباه الموصلات والصور الكهروضوئية ، وخاصة في عمليات PECVD و CVD.

تلعب صواني الجرافيت MOCVD دورًا مهمًا في العملية الفوقية. تقوم هذه المقالة بإجراء تحليل مفصل حول اختيار صواني الجرافيت MOCVD من وجهات نظر خصائص المواد وسيناريوهات التطبيق.