رقائق كهرضغطية PZT (PZT على Si/SOI)

1. العمارة الفنية

تتميز رقائقنا ببنية مكدسة متعددة الطبقات متطورة مصممة لضمان الالتصاق الأمثل، والتوصيل، والاستجابة الكهرضغطية أثناء معالجة MEMS المعقدة:

 ●القطب العلوي (الطبقة الرئيسية): حزب العمال (البلاتين).

● طبقة بيزو (الطبقة الأساسية): بي زي تي.

● الطبقات المتوسطة: تتضمن الطبقة العازلة والقطب السفلي وطبقة الالتصاق لتحسين اتجاه الحبوب والاستقرار الهيكلي.

● الركيزة: متوافق مع رقائق Si أو SOI.

2. ضمان الجودة وتحليل البنية الدقيقة

نحن نضمن موثوقية عالية من خلال التوصيف الفني الصارم:

 ●تحليل SEM: تكشف صور المجهر الإلكتروني الماسح (SEM) عن مورفولوجيا سطحية كثيفة وخالية من الشقوق مع توزيع موحد لحجم الحبوب، مما يجعلها مثالية لتطبيقات MEMS عالية الموثوقية.

 ●توصيف XRD: أنماط حيود الأشعة السينية (XRD) تؤكد تكوين طور البيروفسكايت النقي مع اتجاه مفضل قوي (100)، مما يضمن أقصى معاملات أداء كهرضغطية.

3. المواصفات الفنية (الخصائص)

4. التطبيقات الأساسية

 ● محولات الطاقة بالموجات فوق الصوتية الكهربائية الانضغاطية الدقيقة (pMUT): مصفوفات مصغرة عالية التردد لأجهزة استشعار بصمات الأصابع، والتعرف على الإيماءات، ورادار الموجات فوق الصوتية للسيارات.

 ● الاتصالات: مفتاح لتصنيع مرشحات FBAR أو SAW في 5G/6G لتحقيق نطاق ترددي أوسع وخسارة أقل في الإدخال.

 ● ممس الصوتية: يوفر استجابة عابرة قوية لمكبرات الصوت MEMS ويحسن نسبة الإشارة إلى الضوضاء (SNR) لميكروفونات MEMS.

 ● التحكم الدقيق في السوائل: اهتزاز عالي السرعة عبر وضع d31 للتحكم الدقيق بمقياس النانو في حجم القطرات في رؤوس الطباعة النافثة للحبر.

 ● الطب والتجميل (الضخ الجزئي): تشغيل البخاخات الطبية أو مضخات الموجات فوق الصوتية التجميلية ذات الموثوقية العالية والحجم الصغير.

5. خدمات التخصيص

بالإضافة إلى الترسيب القياسي على رقائق Si، فإننا نقدم أيضًا خدمات الترسيب المخصصة:

 ●تخصيص الفيلم والسمك: ترسيب أنواع أفلام محددة وسمك مخصص حسب متطلبات التصميم.

 ●مسبك تصنيع المعدات الأصلية: قبول الرقائق الموردة من العملاء لنمو الأغشية الرقيقة الكهرضغطية عالية الجودة.

 ●دعم الركيزة SOI: ترسيب متخصص على رقائق SOI بالمواصفات التالية: