أخبار الصناعة

تحلل المقالة التحديات المحددة التي تواجهها عملية طلاء CVD TaC لنمو بلورة SiC الفردية أثناء معالجة أشباه الموصلات، مثل مصدر المواد والتحكم في النقاء، وتحسين معلمات العملية، والتصاق الطلاء، وصيانة المعدات واستقرار العملية، وحماية البيئة والتحكم في التكاليف، كما وكذلك حلول الصناعة المقابلة.

من منظور التطبيق لنمو بلورة أحادية SiC، تقارن هذه المقالة المعلمات الفيزيائية الأساسية لطلاء TaC وطلاء SIC، وتشرح المزايا الأساسية لطلاء TaC على طلاء SiC من حيث مقاومة درجات الحرارة العالية، والثبات الكيميائي القوي، وتقليل الشوائب، و تكاليف أقل.

هناك العديد من أنواع معدات القياس في مصنع FAB. تشمل المعدات الشائعة معدات قياس عملية الطباعة الحجرية ، ومعدات قياس عملية الحفر ، ومعدات قياس عملية ترسب الأفلام الرقيقة ، ومعدات قياس عملية المنشطات ، ومعدات قياس عملية CMP ، ومعدات الكشف عن جسيمات الرقاقة وغيرها من معدات القياس.