حلقة طلاء CVD SIC

هناك العديد من الأجزاء الصغيرة في الأجزاء نصف القمر، وحلقة طلاء SiC هي واحدة منها. من خلال تطبيق طبقة منCVD كذا طلاءعلى سطح حلقة الجرافيت عالية النقاء بطريقة CVD، يمكننا الحصول على حلقة طلاء CVD SiC. تتميز حلقة طلاء SiC مع طلاء SiC بخصائص ممتازة مثل مقاومة درجات الحرارة العالية، والخصائص الميكانيكية الممتازة، والاستقرار الكيميائي، والتوصيل الحراري الجيد، والعزل الكهربائي الجيد، ومقاومة الأكسدة الممتازة. حلقة طلاء CVD SiC وطلاء SiCمتعهدالعمل معا.

حلقة طلاء SiC والتعاونمتعهد

وظائف حلقة طلاء CVD SIC:

  ●   توزيع التدفق: يساعد التصميم الهندسي لحلقة طلاء SIC على تشكيل مجال تدفق غاز موحد ، بحيث يمكن أن يغطي غاز التفاعل سطح الركيزة بالتساوي ، مما يضمن نموًا موحدًا للضرب.

  ●  التبادل الحراري وتوحيد درجة الحرارة: توفر حلقة الطلاء CVD SiC أداءً جيدًا للتبادل الحراري، وبالتالي الحفاظ على درجة حرارة موحدة لحلقة الطلاء CVD SiC والركيزة. وهذا يمكن تجنب العيوب الكريستالية الناجمة عن تقلبات درجات الحرارة.

  ●  حجب الواجهة: يمكن لحلقة طلاء CVD SiC أن تحد من انتشار المواد المتفاعلة إلى حد معين، بحيث تتفاعل في منطقة معينة، وبالتالي تعزيز نمو بلورات SiC عالية الجودة.

  ●  وظيفة الدعم: يتم دمج حلقة طلاء CVD SIC مع القرص أدناه لتشكيل بنية مستقرة لمنع التشوه في بيئة ارتفاع درجة الحرارة وتفاعل التفاعل ، والحفاظ على الاستقرار الكلي لغرفة التفاعل.

تلتزم أشباه الموصلات الفيتيك دائمًا بتزويد العملاء بحلقات طلاء SIC عالية الجودة ومساعدة العملاء على إكمال الحلول بأكثر الأسعار تنافسية. بغض النظر عن نوع حلقة طلاء CVD SIC التي تحتاجها ، لا تتردد في استشارة أشباه الموصلات الفيتيكية!

بيانات SEM لـ CVD SIC Crystal Structure ：

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC: